KARAKTERISASI DAN PEMBUATAN KAPASITOR Ba0,3Sr0,7TiO3MENGGUNAKAN METODE SOL-GEL

ABSTRAK

Film tipis dari bahan Barium Strontium Titanat (BST) dengan komposisi Ba0,3Sr0,7TiO3 dibuat dengan menggunakan metode sol-gel dan di annealing pada temperatur 600o Cdan 650o Cuntuk mendapatkan struktur kristalin. Film tipis BST tersebut dikarakterisasi menggunakan Field Emission Scanning Electron Microscopy (FESEM) dan spektroskopi impedansi. Hasil karakterisasi menggunakan FESEM pada temperatur 600o C dan 650o C diperoleh ketebalan yaitu 69,22 nm dan 73,69 nm. Nilai komposisi massa Ba:Sr:Ti yang didapatkan dari hasil karakterisasi EDX padasuhu 600o Cadalah 0,3:1,7:3,8 dan pada suhu 650o C yaitu 0,1:0,3:0,8. Hasil karakterisasi menggunakan spektroskopi impedansi diperoleh nilai frekuensi, impedansi real (Z’) dan impedansi imajiner (Z”). Dari hasil impedansi jugadiperoleh informasi bahwa semakin besar frekuensi maka semakin kecil kapasitansi kompleks dan konstanta dielektrik, begitu juga sebaliknya. Secara umum semakin besar suhu annealing maka nilai kapasitansi dan konstanta dielektriknya akan semakin besar. Pada frekuensi 100 Hz dengan suhu 600o C dan 650o C, nilai kapasitansinyaadalah 1,457x10-5 F, 1,476x10-5 F. Nilai konstanta dielektrik untuk suhu 100 Hz pada suhu 600o C dan 650o C adalah 670 dan 723.