Pengaruh Tekanan Sputtering Terhadap Kekasaran Permukaan Dan Interaksi Butiran Magnetik Dalam Lapisan Tipis Cobalt-Samarium
ABSTRAK
Telah dilakukan penelitian tentang Pengaruh Tekanan Sputtering Terhadap Kekasaran Permukaan danInteraksi Butiran Magnetik Dalam Lapisan Tipis Cobalt-Samarium (CoSm) dengan menggunakanAtomic Force Microscopy (AFM) dan Alternating Gradient Force Magnetometry (AGFM). TekananSputtering divariasi dari (4, 8, 12, 16 dan 20)x10-3 mbar, ternyata kekasaran permukaannya adalah (2,2;3,1; 3,2; 5,3 dan 5,8)nm dan interaksi butiran magnetiknya (0,49; 0,42; 0,30; 0,23 dan 0,20) sedangkannilai koersivitasnya adalah (1821,10; 1525,45; 1230,90; 920,75 dan 345,35)oersted.Terlihat bahwa kekasaran permukaan cenderung bertambah dengan naiknya tekanan Sputtering,sedangkan nilai interaksi butiran magnetik dan koersivitasnya cenderung menurun denganbertambahnya tekanan Sputtering.
KATA KUNCI
- Tekanan Sputtering; Kekasaran Permukaan; Interaksi Butiran Magnetik; Koersivitas
CARA MENGUTIP
Salomo ', Erwin ', Hera Didana (2026) Pengaruh Tekanan Sputtering Terhadap Kekasaran Permukaan Dan Interaksi Butiran Magnetik Dalam Lapisan Tipis Cobalt-Samarium. Komunikasi Fisika Indonesia, 9(4), 374-379 https://doi.org/10.31258/jkfi.9.04.374-379
Salomo ', Erwin ', Hera Didana "Pengaruh Tekanan Sputtering Terhadap Kekasaran Permukaan Dan Interaksi Butiran Magnetik Dalam Lapisan Tipis Cobalt-Samarium," Komunikasi Fisika Indonesia, vol. 9, no. 4, pp. 374-379, 2026. doi: 10.31258/jkfi.9.04.374-379.
@article{2026,
author = {Salomo ' and Erwin ' and Hera Didana},
title = {Pengaruh Tekanan Sputtering Terhadap Kekasaran Permukaan Dan Interaksi Butiran Magnetik Dalam Lapisan Tipis Cobalt-Samarium},
journal = {Komunikasi Fisika Indonesia},
year = {2026},
volume = {9},
number = {4},
pages = {374-379},
doi = {10.31258/jkfi.9.04.374-379},
issn = {2579-521X},
}